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棱镜耦合仪Prism Coupling

设备主要功能用途
本设备主要用固体材料折射率测量，单层薄膜厚度和折射率测量，双层膜厚度和折射率测量，折射率温度系数测量。
 
设备主要技术指标
测试波长：632.8nm,1064nm,1552nm
折射率测试范围：1.0-2.4
折射率测试精度：优于0.001
折射率测试重复性：优于0.0005
厚度精度：优于0.5%+5nm 分辨率：优于0.3%

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