电子显微探测----中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光单元技术实验室

电子显微探测

设备主要功能用途

除H、He、Li、Be等几个较轻元素，以及U以后的元素定性和定量分析，可以进行表面形貌成像。通常应用于测试金属、矿物、玻璃、晶体和光纤等样品的成分分析和形貌分析。

设备主要技术指标

检测元素范围：WDS: B~U；

加速电压：0~30kV；

束流电流范围：10^-12~10^-6A；

扫描倍率：×40~ × 10000（W.D. 11mm）；

分辨率：~1mm